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簡介

各種功能材料的

光學常數測量和光譜特性分析

應用領域：

微電子和半導體、平板顯示、光電子、光伏太陽能電池、
      生物化學工程、光學鍍膜、納米技術、在線實時過程控制

光學原理：

光波從接觸到光學組件表面，到離開光學組件表面的短暫時間里，其偏極狀態（polarization state)一定會改變。橢圓偏光儀，既是一種用來量測光波穿透光學組件，或從光學組件表面反射前后偏極狀態改變情形的儀器。由于此種偏極狀態的改變是光波與光學組件材料產生交互作用的結果，因此可由偏極狀態的改變情形，反推得到光學組件表面的物理特性。這里所謂的光學組件表面有可能是光學組件的表面，也有可能是單層膜或多層膜的堆棧，也可能是光學組件表面的污染層。
      光藉由非零度入射角至樣品表面而反射, 因為樣品的厚度及對光的反應（吸收或透明…）而產生極化狀態的改變（產生相位及振幅的改變），此量測方式我們稱為橢圓儀量測。量測時對于每個波長,我們得到兩個獨立的參數Ψ and △